單(dan)晶爐(lu)(lu)是(shi)(shi)利(li)用石墨(mo)加熱器在惰性氣體(主要是(shi)(shi)氮氣和氦氣)環(huan)境(jing)(jing)中熔化多(duo)(duo)晶硅(gui)等多(duo)(duo)晶硅(gui)材(cai)料，采用齊拉斯基(ji)法生長無(wu)位錯單(dan)晶的(de)(de)一種設備。它(ta)的(de)(de)內(nei)部結構*其復雜。但(dan)是(shi)(shi)單(dan)晶硅(gui)棒(bang)的(de)(de)生產對(dui)環(huan)境(jing)(jing)要求非(fei)常高。如果爐(lu)(lu)體溫度過高，爐(lu)(lu)體會變形(xing)，影響(xiang)設備尺寸(cun)和單(dan)晶硅(gui)棒(bang)的(de)(de)生長。如果爐(lu)(lu)體長期處于高溫環(huan)境(jing)(jing)的(de)(de)工作狀態，爐(lu)(lu)體上會出現裂(lie)紋，對(dui)爐(lu)(lu)體造(zao)成損壞，降低爐(lu)(lu)體的(de)(de)使用壽命。
為了降低(di)單晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)工作(zuo)過程中(zhong)的(de)(de)溫度，一(yi)般在單晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)內設置冷(leng)卻(que)結構，通過冷(leng)卻(que)水循環系統(tong)將單晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)內的(de)(de)熱(re)量帶走，從而降低(di)單晶(jing)爐(lu)(lu)(lu)內的(de)(de)溫度。但是(shi)，水冷(leng)卻(que)系統(tong)需要配備(bei)(bei)冷(leng)水機組(zu)、冷(leng)卻(que)池、冷(leng)卻(que)水泵、熱(re)交換器等(deng)設備(bei)(bei)。整個系統(tong)結構復雜，占用(yong)空間大，對水質和流量有特殊(shu)要求。安裝和使用(yong)困難。
半導(dao)體工藝(yi)設備為(wei)大規模半導(dao)體制(zhi)造(zao)(zao)提供了制(zhi)造(zao)(zao)基礎(chu)。描繪電子產業未(wei)來的摩爾定律，將(jiang)導(dao)致未(wei)來半導(dao)體器(qi)件的集成化(hua)和小型化(hua)程度更(geng)高(gao)，功能更(geng)強。
單晶爐
單(dan)晶爐是一種(zhong)全自動(dong)直(zhi)拉單(dan)晶生長爐，是利用石墨加熱器在惰性氣體(氮氣、氦氣)環境(jing)中熔化多晶硅(gui)等多晶材料，采用直(zhi)拉法生長無位錯單(dan)晶的設(she)備。
單(dan)晶硅(gui)爐的(de)模型有兩(liang)種(zhong)命(ming)名方法，一(yi)種(zhong)是(shi)進料(liao)量，另一(yi)種(zhong)是(shi)爐膛直徑。如120、150等型號由進料(liao)量決定，85爐指的(de)是(shi)主爐筒直徑。
單晶(jing)硅爐的主體由(you)主機、加熱電(dian)源和計算機控(kong)制系(xi)統組成。
制冷機主要應用于空調冷卻系統、冷凍系列、注塑、制革、發泡、發電、汽輪機、鋁型材加工、空壓機、工業水冷卻等領域，應用最多的為空調冷卻、冷凍、塑膠化工行業。
工業生產或制冷工藝過程中產生的廢熱，一般要用冷卻水來導走。冷卻塔的作用是將挾帶廢熱的冷卻水在塔內與空氣進行熱交換，使廢熱傳輸給空氣并散入大氣中。
例如：火電(dian)廠(chang)內，鍋爐將水加熱成(cheng)(cheng)高(gao)溫高(gao)壓蒸汽(qi)(qi)，推動汽(qi)(qi)輪(lun)機做(zuo)功使發電(dian)機發電(dian)，經汽(qi)(qi)輪(lun)機作(zuo)功后的廢(fei)汽(qi)(qi)排(pai)入(ru)冷(leng)(leng)凝器，與冷(leng)(leng)卻水進行熱交換凝結(jie)成(cheng)(cheng)水，再(zai)用水泵(beng)打回鍋爐循(xun)環(huan)使用。這一過(guo)程中乏汽(qi)(qi)的廢(fei)熱傳給了冷(leng)(leng)卻水，使水溫度(du)升(sheng)高(gao)，挾帶廢(fei)熱的冷(leng)(leng)卻水。
單晶硅片的工藝流程
硅(gui)，地球上有很(hen)多含硅(gui)的東西。似(si)乎90%以上都是晶硅(gui)，也就是單(dan)晶硅(gui)。太(tai)陽能級硅(gui)的純(chun)度在(zai)6N以上。
首先(xian)是(shi)石(shi)(shi)頭(tou)(所有(you)的石(shi)(shi)頭(tou)都含(han)有(you)硅(gui))。將(jiang)石(shi)(shi)頭(tou)加(jia)(jia)熱(re)至液態，再加(jia)(jia)熱(re)至氣(qi)(qi)(qi)態。讓(rang)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)通過一(yi)個(ge)密(mi)封的大盒子(zi)。盒子(zi)里有(you)N個(ge)以上的子(zi)晶(jing)(jing)體(ti)用(yong)于加(jia)(jia)熱(re)，兩端(duan)用(yong)石(shi)(shi)墨(mo)夾緊。當氣(qi)(qi)(qi)體(ti)穿(chuan)過盒子(zi)時，子(zi)晶(jing)(jing)體(ti)會將(jiang)其中一(yi)種氣(qi)(qi)(qi)體(ti)吸(xi)收到(dao)子(zi)晶(jing)(jing)體(ti)上，子(zi)晶(jing)(jing)體(ti)就(jiu)會逐漸變厚。因為氣(qi)(qi)(qi)體(ti)變成固體(ti)，很慢，大約一(yi)個(ge)月左右(you)，盒子(zi)里有(you)很多長初級多晶(jing)(jing)硅(gui)。
單晶硅芯片由此進入生產過(guo)程:
1. 酸洗(xi):用稀硝(xiao)酸HNO3進行清洗(xi)，去(qu)除精煉過(guo)程中產生的表面雜(za)質和四(si)氯化硅。
2. 清洗(xi)(xi):清洗(xi)(xi)酸洗(xi)(xi)后硅材(cai)料(liao)的殘留雜質(zhi)。
華祥工(gong)業冷(leng)水機廠家(jia)提供單(dan)晶(jing)硅(gui)爐(lu)冷(leng)卻,單(dan)晶(jing)硅(gui)爐(lu)制冷(leng)解決方案,單(dan)晶(jing)硅(gui)爐(lu)冷(leng)凍，價格合理(li)，品質保證。
